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英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作紫外光刻机采购项目(SDDY-220305) 单一来源征求意见公示 来源: 作者:

一、项目信息

采购人:英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作

项目名称: 英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作紫外光刻机采购项目

拟采购的货物或英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作的说明:

英超联赛携手PG电子爆超级大奖发布官方合作拟购置ABM Inc英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作生产的紫外光刻机主要用于离子阱量子计算研究。芯片离子阱量子计算的实验中,需要通过芯片阱的设计来突破常规离子阱的规模限制,从而获得更大规模的离子阱量子位其光刻有效范围: 6英寸方形;事实上曝光精度:0.6um微米(NUV);分辨率小于1微米;光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考)±3% 辐照中心点6英寸范围内;对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 ,分视野;对准精度≤±0.5微米;放大倍率连续可调:标配100-800X。目前能满足上述特点的紫外光刻机只有美国ABM Inc英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作生产,所以申请单一来源购置该紫外光刻机

本次拟购买的美国ABMInc英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作生产的紫外光刻机设计易于操作、稳定性极高,具有稳定的可重复曝光功能,可以实现均匀可控的紫外光输出。是完成实验研究和教学科研工作中必不可少的设备之一。

拟采购的货物或英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作的预算金额: 999600

只有美国采用单一来源采购方式的原因及说明:目前满足上述参数的紫外光刻机,ABM Inc英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作生产,北京泰和浩天科技有限英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作是美国ABM Inc英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作在中国此项目授权的唯一代理商,因此,申请以单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称: 北京泰和浩天科技有限英超联赛携手PG电子爆超级大奖公布官方合作

地址: 北京市朝阳区阜通东大街12号楼14层(15)1401  

三、公示期限

2023522 2023 526 公示期限不得少于5个工作日

四、其他补充事宜:

五、联系方式

1.采购人

联 系 人:   

联系地址: 山西省太原市坞城路92号 

联系电话: 0351-7011255

2.监督部门

联系人: 山西省财政厅政府采购管理处

联系地址: 太原市小店区学府街41号

联系电话: 0351-4123278

附件

1、专业人员论证意见

2、紫外光刻机采购项目明细

东山校区项目是英超联赛携手PG电子爆

提升办学实力而实施的重大专项工程

延伸阅读其位于太原市东山过境高速以东

规划中的学府街东延线以南


附件2:

紫外光刻机采购项目明细

序号

货物名称

数量

单位

预算单价(元)

预算总价(元)

品牌规格型号及配置技术参数

备注

1

紫外光刻机

1

999600

999600

1.主要技术指标:

*1.1 要求350W近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器,紫外波长范围350-450nm 6英寸方形光刻辐照输出光源

*1.2 可达到输出紫外光强照度参数如下:

365 nm – 18-20 mw/cm2

400 nm – 35-40 mw/cm2

*1.3 光刻有效范围: 6英寸方形

*1.4 光照强度不均匀性指标(以365nm波长为参考): ≤±3% (辐照中心点6英寸范围内)

*1.5 光刻最佳分辨率:≤0.6微米

*1.6 对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍

*1.7 对准精度:≤±0.5微米

*1.8 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上一次设定的位置)

*1.9 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离)

1.10 需具备携行补偿模式的自动Z轴方向水平补偿功能

*1.11 对准工作台调整范围:X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.0001度

1.12 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触;

1.13 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关;

1.14 配置氮气通路,可用于掩膜板和基板之间分离

2. 光源部分

2.1 光强控制:恒光强和恒功率选择控制,光强和功率可调;

3. 光强均匀性

3.1 ±3%,150mm″晶圆基板;

3.2 ±2%,100mm″晶圆基板;

3.3 ±1%,50mm″晶圆基板;

3.4 紫外光灯源波长范围:350~405nm;

3.5 曝光时间:0.1~999.9s联系可调,最小调节尺度0.1s。

4. 配置

4.1 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。

5. 对准系统

5.1 配备棱镜对准装置,最小双视场对准间距≦10mm;

5.2 对准工作台调整范围:X轴±12.5mm,Y轴±12.5mm,θ角±5°,Theta精度:±0.0001度;

6. 其他配置

6.1 进口无油真空泵:压力25-27mmHg;

6.2 抗震台;

进口

合计

999600

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南中环东延线以北2023-05-22
规划土地面积997509.28平方米
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